对标SJ/T11636-2016行业标准：CT-1Plus电位滴定仪测定显影液中TMAH浓度

一、显影液与TMAH：半导体制造的关键环节

在半导体光刻工艺中，显影液的核心功效成分是四甲基氢氧化铵（TMAH）。其不含金属离子的特性，使其成为先进制程的理想选择——即使十亿分之一的钠、钾污染，都可能导致芯片报废。正胶显影中，2.38%是经过验证的“黄金浓度"，在此浓度下显影效果好，图形边缘陡直。随着制程迈向5纳米以下，浓度波动窗口已收紧至±0.01%，浓度偏差直接影响显影速率、关键尺寸均一性及最终良率。精准测定TMAH浓度，已成为半导体质控的刚性需求。

二、标准：自动电位滴定法

2016年发布的行业标准SJ/T11636-2016《电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定自动电位滴定法》，明确规定采用自动电位滴定法进行测定。该方法基于酸碱中和反应，通过pH电极实时监测电位变化，在化学计量点处电位发生突跃，仪器自动识别终点。标准要求：滴定管分辨率不低于1/10000mL，平行测定3次结果的相对标准偏差RSD≤0.2%。

CT-1Plus电位滴定仪，正是严格依据此标准量身打造的检测仪器。

三、CT-1Plus：为TMAH检测而生

核心优势：

-超高精度：20mL计量管，滴定控制精度0.001mL，电位精度0.01mV，pH精度0.001pH，全面超越标准要求。

-智能终点：支持微分阈值判定等多种模式，精准识别电位突跃，确保客观重复。

-合规管理：符合GLP/GMP规范，支持U盘存储防伪PDF报告，具备审计追踪功能。

-便捷操作：7.0寸大屏幕实时显示滴定曲线，触屏/键盘双输入，3分钟完成检测。

四、实测纪实

仪器配置：CT-1Plus+pH-102电极+20mL计量管

滴定剂：盐酸标准溶液（0.0801mol/L）

方法：称取适量样品（精确至0.0001g），加50mL纯水，用盐酸标准溶液滴定至终点。

参数：最小滴定体积20μL，最大100μL，搅拌速度200，微分阈值200。

实测数据（23℃，50%RH）：

三次结果高度一致，RSD远优于0.2%，整个检测仅需3分钟，效率较手工滴定提升十倍以上。

CT-1Plus电位滴定仪以符合行业标准的硬核实力，为显影液中TMAH浓度检测提供了高精度、高效率、高合规的应用方案。选择CT-1Plus，就是为每一片晶圆的质量多一重保障，为每一次光刻的精度多一分信心。